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002658
電子特氣的品質主要取決於其純度和淨度,一旦純度或淨度不達標,輕則使下游產品質量不過關,重則擴散污染整條產品線,造成嚴重浪費。為了保證產品的合格率,避免經濟損失,半導體製造商會對氣體供應商提供的氣體純度做出嚴格要求,通過使用多種氣體純化技術並實時連續監測氣體純度,以確保輸送到製造全過程的超純氣體的質量。
雪迪龍為半導體製造商提供過程氣體分析一站式解決方案,在電子特氣進入矽晶圓製造工藝之前,就開啟連續監測,並通過自主研發的軟件包實時分析和反饋,滿足對晶圓製造過程中各種氣體及雜質進行在線實時監測的需求。